近期，隨著光刻機(jī)概念在資本市場(chǎng)備受關(guān)注，工業(yè)氣體板塊也呈現(xiàn)出活躍態(tài)勢(shì)。9月19日，凱美特氣股價(jià)漲停，廣鋼氣體、和遠(yuǎn)氣體、金宏氣體、雅克科技、杭氧股份等企業(yè)股價(jià)均出現(xiàn)不同程度的上漲。

工業(yè)特種氣體被譽(yù)為中國(guó)工業(yè)的“血液”，其中一家中國(guó)企業(yè)在該領(lǐng)域掌握了核心技術(shù)，成為產(chǎn)業(yè)鏈上的佼佼者，它就是華特氣體。華特氣體生產(chǎn)的光刻氣在國(guó)內(nèi)市場(chǎng)占有率高達(dá)六成，是中國(guó)唯一、全球僅四家獲得光刻機(jī)巨頭ASML和GIGAPHOTON認(rèn)證的企業(yè)。

目前，華特氣體已成功進(jìn)入長(zhǎng)江存儲(chǔ)、中芯國(guó)際、華虹宏力、合肥長(zhǎng)鑫等幾乎所有國(guó)內(nèi)頭部芯片企業(yè)的供應(yīng)鏈，實(shí)現(xiàn)了對(duì)8寸以上集成電路制造廠商超過(guò)90%的覆蓋率。不僅如此，該公司還參與了英特爾、德州儀器、臺(tái)積電、三星、英飛凌等十多個(gè)國(guó)際巨頭的產(chǎn)業(yè)鏈，與國(guó)際同行展開(kāi)了激烈競(jìng)爭(zhēng)。

華特氣體能有今天的成就，與其董事長(zhǎng)石平湘密不可分。1976年，時(shí)任佛山市二氧化碳研究所經(jīng)理的石平湘，在與上級(jí)派來(lái)的巡視員參觀工廠時(shí)，目睹了令人震驚的一幕：廠房?jī)?nèi)一片寂靜，突然傳來(lái)一聲巨響，一名工人憤怒地咆哮道：“這個(gè)價(jià)格太離譜了，5N純度的氣體，1公斤居然要賣90美金！”電子特氣的純度用N表示，例如99.999%就是5N，N的數(shù)量越多，純度越高。當(dāng)時(shí)，缺“氣”是許多工廠面臨的難題，主要依賴進(jìn)口，不僅價(jià)格高昂，而且購(gòu)買過(guò)程艱難。90美金相當(dāng)于一名工程師幾個(gè)月的工資，一位專家當(dāng)場(chǎng)氣憤地說(shuō)：“中國(guó)的化工人難道只能吃素嗎？”

這一場(chǎng)景深深觸動(dòng)了石平湘，他意識(shí)到中國(guó)要發(fā)展，必須實(shí)現(xiàn)技術(shù)領(lǐng)先。中國(guó)企業(yè)不能只滿足于現(xiàn)狀，而要追求更高的目標(biāo)。45歲時(shí)，他帶頭創(chuàng)立了廣東華南特種氣體研究所。經(jīng)過(guò)一段時(shí)間的努力，團(tuán)隊(duì)成功研發(fā)出首個(gè)氣體產(chǎn)品——?dú)寮佣趸肌拇耍较嫣ど狭恕盃?zhēng)氣”之路。

進(jìn)入21世紀(jì)，電子特氣領(lǐng)域依然被“卡脖子”，而它在價(jià)值鏈中的地位僅次于晶圓。例如，光刻氣的純度直接影響芯片的性能、良率和成本。從28nm、14nm到7nm、5nm，制程越先進(jìn)，對(duì)純度的要求就越高。

石平湘決定再次發(fā)力，向電子特氣領(lǐng)域進(jìn)軍，投入大量人力和物力進(jìn)行自主研發(fā)。需要注意的是，特氣種類繁多，且具有小批量、高頻次的供貨特點(diǎn)。而電子特氣一旦出現(xiàn)質(zhì)量問(wèn)題，不僅會(huì)影響同批產(chǎn)品，甚至可能導(dǎo)致整條晶圓生產(chǎn)線報(bào)廢，因此客戶對(duì)供應(yīng)商的選擇極為謹(jǐn)慎，輕易不會(huì)更換。

面對(duì)巨大的壓力，石平湘帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)成功研發(fā)出自己的電子特種氣體，實(shí)現(xiàn)了50多個(gè)產(chǎn)品的國(guó)產(chǎn)替代，能夠?yàn)?4nm、7nm產(chǎn)線供料，部分產(chǎn)品甚至用于5nm工藝。華特氣體的產(chǎn)品還廣泛應(yīng)用于生物醫(yī)療、光伏新材等領(lǐng)域。

事實(shí)上，特種氣體雖然用途廣泛，但市場(chǎng)規(guī)模一直不大，到2025年預(yù)計(jì)不到500億，且利潤(rùn)率不高，許多企業(yè)不愿投入精力研發(fā)。但石平湘認(rèn)為，利潤(rùn)雖薄，卻關(guān)乎中國(guó)工業(yè)的“血液”是否掌握在自己手中。30多年來(lái)，華特氣體獲得了近百項(xiàng)授權(quán)專利，參與制定了多項(xiàng)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，產(chǎn)品出口到超過(guò)50個(gè)國(guó)家和地區(qū)。

即使已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了當(dāng)初的目標(biāo)，石平湘仍未停下腳步，他繼續(xù)向乙硅烷、鍺烷等高價(jià)值特氣產(chǎn)品發(fā)起研發(fā)量產(chǎn)的挑戰(zhàn)。