光伏產業作為清潔能源領域的重要組成部分，其生產過程中產生的廢氣治理問題正受到越來越多的關注。光伏組件制造涉及硅材料加工、電池片制備、組件封裝等多個環節，每個環節都會產生不同類型的廢氣污染物，這些廢氣若未經有效處理直接排放，將對生態環境和人體健康構成嚴重威脅。
在硅片清洗工序中，主要產生含氟化氫、硝酸和氫氧化鈉的酸堿混合廢氣；擴散工藝會釋放磷氧氯化合物和氯氣；PECVD環節排放的廢氣中含有硅烷、氨氣等特種氣體；絲網印刷和燒結工序則會產生有機揮發物和鉛化合物。這些廢氣不僅具有強腐蝕性，部分成分還具備易燃易爆特性，給處理工作帶來極大挑戰。特別是單晶硅生產線產生的廢氣中氟化物含量較高，而薄膜電池生產過程則會產生更多重金屬化合物廢氣，不同工藝的廢氣特性差異顯著。
針對廢氣成分的復雜性，行業普遍采用分級處理的技術路線。前處理階段通過集氣罩和風管系統對廢氣進行分類收集，含塵廢氣需先經過旋風除塵器或布袋除塵器進行預處理。酸性廢氣處理主要采用填料塔噴淋吸收法，可根據具體成分選擇堿液噴淋或氧化吸收工藝；堿性廢氣則通過酸液噴淋進行中和處理。對于有機廢氣，高濃度情況優先采用蓄熱式燃燒(RTO)或催化燃燒(CO)技術，低濃度廢氣則適用活性炭吸附或生物處理法。
在實際工程應用中，往往需要組合多種處理工藝才能達到理想效果。某華東地區單晶硅電池片生產企業年產能達1.2GW，其制絨、擴散和PECVD工序產生的廢氣成分復雜，包含氟化氫、氯氣、硅烷和氨氣等。該企業采用"堿噴淋+氧化吸收+活性炭吸附"的組合工藝，通過兩級噴淋塔分別處理酸堿廢氣，專用燃燒器處理特種氣體，最后經活性炭吸附裝置確保有機污染物達標。項目實施后，氟化氫排放濃度低于2mg/m3，硅烷完全分解，非甲烷總烴去除率超過92%，系統能耗較傳統工藝降低約15%。
光伏組件封裝環節的廢氣治理同樣面臨挑戰。某年產能800MW的封裝工廠在層壓和固化工序中產生大量有機廢氣，主要成分為EVA熱解產物和溶劑揮發物。該廠原有處理系統存在收集效率低、運行成本高等問題，導致廠區周邊異味投訴頻發。改造項目采用"預處理+RTO燃燒+余熱回收"工藝，通過改進集氣系統、增設過濾冷凝裝置、選用三室RTO核心設備，使非甲烷總烴排放濃度穩定在20mg/m3以下。余熱回收系統每年可節約天然氣約15萬立方米，運行成本降低30%，徹底解決了異味問題。
廢氣處理設備的選型需充分考慮光伏生產的特殊性。噴淋塔作為酸堿廢氣處理的核心設備，推薦采用PP或FRP材質，塔內應設置高效填料層和多級噴淋系統。對于硅烷等特種氣體，需配備專用燃燒分解裝置。有機廢氣處理方面，RTO設備適合大風量、中高濃度場合，活性炭吸附裝置則適用于小風量、低濃度廢氣處理。考慮到部分工序廢氣排放的間歇性特點，處理系統應具備足夠的緩沖能力和調節靈活性，所有電氣設備必須符合防爆要求。
隨著環保標準的日益嚴格，光伏廢氣處理技術正朝著精細化、智能化方向發展。針對不同工序廢氣特性開發專用處理方案，應用智能控制系統提高處理效率，優化熱回收技術降低能耗，研發新型吸附材料和催化劑提升處理效果，這些技術進步正在推動行業環保水平的整體提升。光伏企業需要持續關注技術發展趨勢，定期評估現有處理系統的適應性，通過必要的升級改造實現環境效益和經濟效益的雙贏。
