近日，天眼查APP數(shù)據(jù)平臺(tái)披露，中微公司（股票代碼：688012）成功斬獲一項(xiàng)發(fā)明專利授權(quán)，該專利名為“一種接地環(huán)及其調(diào)節(jié)方法及等離子體處理裝置”，其申請(qǐng)?zhí)枮镃N202011547788.X，授權(quán)日期為2025年9月9日。

據(jù)專利摘要介紹，此項(xiàng)發(fā)明創(chuàng)新性地提出了一種接地環(huán)及其調(diào)節(jié)方法，并應(yīng)用于等離子體處理裝置中。該接地環(huán)巧妙地設(shè)計(jì)了連接體結(jié)構(gòu)，通過靈活調(diào)整連接體的數(shù)量、更換不同寬度的連接體，或是調(diào)節(jié)連接體可分離連接端部與環(huán)體之間的間隙寬度，實(shí)現(xiàn)了對(duì)射頻分布的優(yōu)化，從而有效保障了刻蝕速率的均勻性。

今年以來，中微公司在專利授權(quán)方面取得了顯著成績，新獲得專利授權(quán)數(shù)量達(dá)到118個(gè)，與去年同期相比增長了28.26%。這一成績的取得，離不開公司在研發(fā)領(lǐng)域的持續(xù)投入。根據(jù)中微公司2025年中報(bào)財(cái)務(wù)數(shù)據(jù)顯示，今年上半年，公司在研發(fā)方面的投入高達(dá)11.16億元，同比增長96.65%，展現(xiàn)了公司對(duì)技術(shù)創(chuàng)新的堅(jiān)定決心和強(qiáng)大實(shí)力。

除了在專利領(lǐng)域的突出表現(xiàn)，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司在商業(yè)運(yùn)營方面也頗為活躍。天眼查大數(shù)據(jù)分析顯示，該公司共對(duì)外投資了29家企業(yè)，積極參與各類招投標(biāo)項(xiàng)目，累計(jì)參與次數(shù)達(dá)67次。在知識(shí)產(chǎn)權(quán)保護(hù)方面，公司同樣不遺余力，擁有商標(biāo)信息98條，專利信息1539條，著作權(quán)信息13條。公司還依法獲得了76個(gè)行政許可，為企業(yè)的穩(wěn)健發(fā)展提供了有力保障。