比利時微電子研究中心（IMEC）近日宣布，利用阿斯麥（ASML）的極紫外光刻（EUV）設備，成功實現了全晶圓級納米孔制造。這一突破被阿斯麥公司公關負責人評價為“生物醫學領域的一項意外卓越應用”，標志著分子傳感技術邁入新階段。
納米孔是一種直徑僅數納米的微小孔道，其尺寸約為人類頭發絲的萬分之一。這種微觀結構在生物醫學領域展現出獨特價值，其核心原理基于分子與孔道的相互作用：當分子穿過納米孔時，會引發流經孔道的離子電流波動，而波動特征能夠反映分子的尺寸、結構、電荷屬性及相互作用方式。通過捕捉這些電信號變化，生物醫學傳感器可實現高靈敏度分子區分。
基于極紫外光刻技術制備的納米孔，已成為生物醫學傳感的“分子關卡”。該技術能夠精準檢測病毒、蛋白質、DNA等單個分子，為疾病診斷、藥物研發及分子級分析提供了關鍵工具。通過調整固態納米孔的尺寸，其應用場景還可延伸至過濾技術與分子數據存儲領域。比利時微電子研究中心強調，這一突破不僅提升了檢測精度，更拓展了納米孔技術的多功能性。
傳統納米孔制備方法存在明顯局限：速度緩慢、依賴實驗室環境且成本高昂，導致相關傳感器技術長期難以實現規模化應用。而比利時微電子研究中心的最新成果顯示，其利用極紫外光刻設備，在300毫米整片晶圓上制備出直徑約10納米的高均勻性納米孔。這一技術兼具量產化、高精度與可重復性優勢，有望打破納米孔傳感器商業化瓶頸，推動生物醫學檢測技術向更高效、更經濟的方向發展。
