在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,光刻技術(shù)一直占據(jù)著核心地位,其中光刻機(jī)更是技術(shù)的重中之重。當(dāng)前,ASML公司憑借其強(qiáng)大的市場(chǎng)地位,特別是在高端EUV光刻機(jī)方面的壟斷,對(duì)全球先進(jìn)芯片制造企業(yè)產(chǎn)生了深遠(yuǎn)影響。
ASML在光刻機(jī)市場(chǎng)的份額超過(guò)了80%,尤其是EUV光刻機(jī),全球僅此一家能夠生產(chǎn)。由于EUV光刻機(jī)是制造7nm及以下工藝芯片的關(guān)鍵設(shè)備,ASML實(shí)際上扼住了全球芯片制造行業(yè)的技術(shù)咽喉。
面對(duì)ASML的技術(shù)封鎖,全球眾多企業(yè)一直在積極探索繞過(guò)EUV光刻機(jī)的替代方案,以期掌握新的芯片制造技術(shù),從而改寫全球芯片設(shè)備市場(chǎng)的格局。
過(guò)去,已經(jīng)有一些技術(shù)方案被提出,例如日本的NIL納米壓印技術(shù),佳能已經(jīng)推出了相關(guān)設(shè)備,據(jù)稱能夠應(yīng)用于5nm芯片的制造。美國(guó)也曾研究過(guò)EBL電子束技術(shù),據(jù)稱同樣適用于5nm及以下芯片的制造。歐洲則探索DSA自生長(zhǎng)技術(shù),俄羅斯則提出了X射線方案等。然而,這些方案大多仍處于理論或?qū)嶒?yàn)階段,真正能夠公布的進(jìn)展有限。
然而,近日,一則消息打破了這一僵局。英國(guó)南安普敦大學(xué)宣布成功建立了首個(gè)分辨率達(dá)到5納米以下的尖端電子束光刻(EBL)中心。這一中心的建立,意味著無(wú)需EUV光刻機(jī)也能制造下一代半導(dǎo)體芯片。
據(jù)悉,該中心的電子束光刻技術(shù)能夠制造5納米以下的芯片,是全球第二個(gè)、歐洲首個(gè)此類電子束光刻中心。然而,目前該技術(shù)還存在一定的局限性,即僅適用于200mm(8寸)的晶圓,而支持300mm(12寸)晶圓的技術(shù)還需等待下一代。
盡管如此,這一技術(shù)的突破仍然對(duì)ASML構(gòu)成了潛在威脅。一旦電子束光刻機(jī)在產(chǎn)能、分辨率等方面取得更大進(jìn)展,ASML的市場(chǎng)壟斷地位或?qū)⑹艿教魬?zhàn)。屆時(shí),全球芯片設(shè)備市場(chǎng)或?qū)⒂瓉?lái)一場(chǎng)巨大的洗牌。
對(duì)于中國(guó)而言,這些新技術(shù)的出現(xiàn)看似是一個(gè)利好消息,因?yàn)檫@意味著我們有了更多的選擇。然而,關(guān)鍵在于這些技術(shù)和產(chǎn)品并非源自中國(guó)。因此,即使這些技術(shù)存在,也未必會(huì)向我們開(kāi)放。這提醒我們,只有自力更生,擁有自己的核心技術(shù),才能真正避免被技術(shù)封鎖所困擾。因此,我們?nèi)孕枥^續(xù)努力,加強(qiáng)自主研發(fā),以期在全球半導(dǎo)體市場(chǎng)中占據(jù)更有利的位置。