在西安高新區(qū)的一座現(xiàn)代化廠房內(nèi)，身著白色防護服的技術(shù)人員正專注地操作精密設(shè)備。這座由陜西電子信息集團主導(dǎo)建設(shè)的半導(dǎo)體制造基地，近日迎來了具有里程碑意義的時刻——陜西電子芯業(yè)時代科技有限公司的8英寸高性能特色工藝半導(dǎo)體生產(chǎn)線正式投入運營，標志著陜西省在高端芯片制造領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了重大技術(shù)突破。

走進恒溫恒濕的潔凈車間，光刻部工程師吳一蔚向記者展示著核心工藝流程："我們采用的光刻技術(shù)相當(dāng)于在硅片上繪制微觀電路圖，這項被稱作'半導(dǎo)體制造皇冠明珠'的工藝，直接決定了芯片的性能上限。"據(jù)介紹，該生產(chǎn)線聚焦新能源汽車、智能家電、新能源儲能等領(lǐng)域的核心需求，專門生產(chǎn)工業(yè)級與車規(guī)級功率芯片，精準填補了國內(nèi)市場空白。

這條總投資45億元的生產(chǎn)線展現(xiàn)出鮮明的自主創(chuàng)新特征：主工藝設(shè)備國產(chǎn)化率突破60%，輔助設(shè)備國產(chǎn)化率高達90%，其中超過80%的設(shè)備具備第三代半導(dǎo)體研發(fā)能力。項目負責(zé)人透露，從2024年5月啟動建設(shè)到9月試產(chǎn)成功，團隊僅用4個月就完成了常規(guī)需要18個月的建設(shè)周期，創(chuàng)造了國內(nèi)同類項目建設(shè)的新速度。

目前，一期工程已形成每月2萬片的產(chǎn)能規(guī)模，150余臺主工藝設(shè)備和400余臺輔助設(shè)備全部到位。更引人注目的是其市場表現(xiàn)——尚未正式投產(chǎn)就已與8家上市公司及行業(yè)龍頭達成合作協(xié)議。公司總經(jīng)理張國偉表示："我們的產(chǎn)品定位非常明確，就是要解決國內(nèi)高端功率芯片'卡脖子'問題，目前訂單量遠超預(yù)期。"

該項目的產(chǎn)業(yè)輻射效應(yīng)正在顯現(xiàn)。據(jù)統(tǒng)計，已帶動上下游關(guān)聯(lián)投資超10億元，與西安交通大學(xué)、西安電子科技大學(xué)等高校建立了聯(lián)合研發(fā)機制，在碳化硅、氮化鎵等第三代半導(dǎo)體材料領(lǐng)域展開前沿攻關(guān)。向下延伸的產(chǎn)業(yè)鏈中，與陜西省內(nèi)200余家半導(dǎo)體企業(yè)形成協(xié)同效應(yīng)，構(gòu)建起從設(shè)計、制造到封測、應(yīng)用的完整產(chǎn)業(yè)生態(tài)。

在潔凈車間的監(jiān)控大屏前，張國偉指著實時數(shù)據(jù)介紹："我們正在實施產(chǎn)能倍增計劃，預(yù)計三年內(nèi)將月產(chǎn)能提升至5萬片。屆時不僅能滿足國內(nèi)30%的市場需求，還將通過特色工藝優(yōu)勢，在功率半導(dǎo)體領(lǐng)域形成國際競爭力。"隨著首批產(chǎn)品陸續(xù)下線，這些誕生于西安的"中國芯"正為綠色能源轉(zhuǎn)型和智能制造升級提供核心支撐。