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東方晶源HPO2.0:AI驅動半導體良率優化新紀元

   時間:2025-04-27 14:21:02 來源:ITBEAR編輯:快訊團隊 發表評論無障礙通道

半導體制造業的發展經歷了從簡單直接的單向線性流程到高度復雜且緊密協同的變革過程。在早期的半導體制造階段,芯片的生產流程相對獨立,從電路設計到最終測試,各個環節間的信息交流非常有限。例如,物理設計、掩膜制作、光刻優化等步驟都是各自為政,缺乏統一的數據互聯互通機制。

然而,隨著技術節點的不斷縮小和光刻技術的快速發展,從2000年左右開始,芯片制造工藝變得越來越復雜,設計與制造之間的耦合效應也日益顯著。在此背景下,設計與制造協同優化(DTCO)的概念逐漸嶄露頭角,成為業界的焦點。DTCO突破了傳統單向流程的局限,不僅實現了單元布局的共同優化,還推動了面向制造的設計(DFM)和面向測試的設計(DFT)等多種方法和工具的發展,促進了設計端與制造端的深度融合。

在這一趨勢下,東方晶源公司在DTCO理念萌芽期便敏銳地捕捉到了機遇,與全球頂尖芯片制造商及設備供應商展開了技術合作,積累了豐富的跨領域研發經驗。2014年,東方晶源正式成立,并推出了具有自主知識產權的全流程工藝優化(HPO)理念。HPO理念的核心在于將設計端的相關信息引入制造過程,特別是在量測和檢測環節,通過跨域融合分析設計信息、量檢測結果及良率信息,實現了芯片設計的可制造性優化和制造良率的高效提升。

東方晶源的HPO理念更加注重設計信息在芯片制造過程中的精準應用,特別是在量測與檢測場景中。公司利用設計版圖信息,為芯片制造廠商提供了目的明確、方法有效、效果可量化的整體量檢測解決方案。同時,依托在計算光刻領域的技術優勢,東方晶源將制造環節的良率相關問題反向回溯至設計端,重構了傳統的DTCO數據閉環體系,形成了“量檢測-分析-優化-反饋”的全鏈路協同架構。

在HPO理念的指導下,東方晶源在計算光刻和芯片制造量檢測領域不斷深耕,并逐步構建了HPO戰略產品系列。這些產品包括DMC(設計可制造性檢查)、PHD(圖形化工藝壞點檢測)、ODAS(離線數據分析系統)、PME(工藝裕度探索器)以及YieldBook等,它們共同構成了東方晶源HPO1.0戰略產品矩陣。這些產品在市場上取得了良好的反饋,被多家芯片制造廠商和設計廠商廣泛應用。

近年來,隨著AI技術的不斷進步,東方晶源看到了實現更高效、更智能化HPO解決方案的可能性。由于公司在底層架構方面的前瞻性布局,其計算光刻產品PanGen自研發初期就基于CPU+GPU的混合超算架構和CUDA開發,能夠與AI框架在同樣的運算環境中高效兼容。因此,東方晶源正式啟動了HPO2.0產品規劃,旨在將AI功能集成到現有產品中,并打造全新的AI驅動產品和應用。

在HPO2.0的規劃中,東方晶源將在計算光刻領域引入AI能力,提高光學鄰近效應修正(OPC)模型的精度,并展開刻蝕建模和曲線掩膜反向光刻優化流程。同時,公司還將為所有良率裝備產品引入AI能力,實現控制優化、故障分析、圖像處理和數據挖掘等功能。東方晶源還將利用AI技術打造一系列良率分析工具,建立從設計版圖到芯片良率的全鏈條數據平臺,為半導體制造業提供智能化的解決方案。

作為國內半導體良率管理的領軍企業,東方晶源通過不斷創新和HPO理念的持續迭代,為全球半導體產業提供了先進的技術和解決方案。HPO2.0的啟動標志著公司由點工具提供商向平臺型解決方案提供者的戰略升級,將助力行業突破先進制程良率瓶頸,推動半導體制造業向更高效率、更低成本、更可持續的方向發展。

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